机器人无尘室
实现高速的更大吞吐量
随着医疗和消费类电子产业的发展,对无尘室自动化解决方案的需求在迅速地增加。控制消费类设备的微型芯片都是从一个精细的硅片上切割下来的,而该硅片是由专门设计的机器人在一个无尘室环境中进行处理的。在某些医疗和制药应用中使用的机器人需要在符合无尘室标准的同时,实现极快的速度和可重复性。川崎提供的技术可以解决如今在无尘室应用方面的挑战。
川崎提供的各种机器人和设备适用于ISO 1级、2级和5级无尘室的分类。这些无尘室机器人拥有引以为傲的业界领先的速度、可重复性和可靠性,而这些在以需求量增加为重点的行业内是关键的因素。为无尘室应用研制出的机器人手臂的设计考虑到了易用性,包括通臂电缆和管路技术、接口连接外围设备的标准,以及针对半导体系列的全自动晶圆处理的教学方案。
川崎拥有高速、准确和可靠的技术,可以帮助您达到您对无尘室自动化的目标。
川崎提供的各种机器人和设备适用于ISO 1级、2级和5级无尘室的分类。这些无尘室机器人拥有引以为傲的业界领先的速度、可重复性和可靠性,而这些在以需求量增加为重点的行业内是关键的因素。为无尘室应用研制出的机器人手臂的设计考虑到了易用性,包括通臂电缆和管路技术、接口连接外围设备的标准,以及针对半导体系列的全自动晶圆处理的教学方案。
川崎拥有高速、准确和可靠的技术,可以帮助您达到您对无尘室自动化的目标。

无尘室机器人:
点击下面的一个系列来了解更多信息。
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- 先进功能
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- 医疗和制药机器人的速度达5,000mm/s
- 半导体机器人达5个FOUP
- 半导体机器人处理达700WPH
- ±0.1mm的重复性
- 碰撞检测
- 全自动的教学方案
- 通臂电缆和管路
- 悬挂式安装手臂可用
- 为什么选择川崎
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- 在无尘室自动化上处于行业领先地位
- 接口连接外围设备的标准
- 自定义抓手安装
- 长期符合标准
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其他资源