无尘机器人

用于半导体和电子行业

高性能专用搬运机器人

川崎提供了业界领先的全系列半导体和电子搬运机器人。这些机器人是专为在无尘室中应用而制造的,包括ISO 1级。速度、准确度以及伸展范围使这些机器人适合搬运精密的半导体晶圆、LCD面板、有机EL,以及太阳能电池板。

典型应用:

无尘机器人外设:

无尘机器人:

点击下面的一个系列来了解更多信息。注:图像未按比例示出。

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  • Kawasaki NT series

    NT系列

    长伸展距离设计
    独立轴驱动
    300和450mm晶圆

    NT系列
  • Kawasaki NS series

    NS系列

    经典圆柱形设计
    RTZ运动驱动
    300mm晶圆

    NS系列
  • Kawasaki NX series

    NX系列

    下一代NS设计
    独立轴驱动
    300mm晶圆

    NX系列
  • Kawasaki TT series

    TT系列

    可伸缩基座设计
    长垂直伸展距离
    长伸展距离NT操纵器

    TT系列
  • 真空机器人

    更多详情请点击此处进一步了解。


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