NTS系列机器人

NTS系列可以用一台机器人在没有走行装置的情况下对应从2FOUP到3FOUP的EFEM。具备川崎独有的驱动部分,能够实现高精度、高刚性的动作。
  • NTS10

    NTS10

    *标准式样不含抓手。

NTS系列机器人:

NTS10单手臂
NTS20双手臂

应用:

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布局范例

一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到3个FOUP就访问所有的EFEM。

详见规格表

NTS系列机器人规格

项目 标准 选项
型号 NTS10 NTS20 -
构造 水平多关节型 -
单手臂 双手臂 -
自由度 (轴) 4 5 -
动作范围 θ1轴 (旋转・JT2) (°) 340 -
Z轴 (上下・JT3) (㎜) 470 -
θ2轴 (旋转・JT4) (°) 340 -
H1轴 (旋转・JT6)(°) 340 -
H2轴 (回転・JT7) (°) - 340 -
最大臂展 (mm) 1,066 -
重复性 (mm)✽1 ±0.1 (晶圆中心) -
无尘度✽2 ISO1级 -
抓手规格✽3 - - 边缘夹持式 / 真空吸附式
控制柜 D60 示教器
分离电缆 (1-5m)✽4 操作盒
软件 标准软件 KRET
KMTerm KR3D
KSUtility Lite KSUtility
手册 使用说明书 -
通信说明书 -
通用软件 (K-Fast) 导入说明书 -
否则 - 校准器
- 测绘传感器

✽1:以ISO9283为基准。

✽2:于川崎的无尘间内测得。

✽3:标准式样不含抓手。

✽4:分离电缆请从1m、2m、2.5m、3m、3.5m、4m、4.5m、5m中选择。

           
详细规格等内容请和各地区销售人员确认。

如果您需要有关产品更多信息,
请随时与我们联系。

NTS系列的咨询信息
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